半導體超微量分析服務

您知道在生產過程所使用的氣體
品質控管是很重要的事

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氣體分析服務

SGS為深根台灣工業與光電半導體廠商提供專業服務

特選於鄰近新竹科學園區設立氣體分析中心,致力於最高技術來針對客戶所使用的氣體進行微量雜質分析,以協助確保客戶端使用之原物料與製程問題釐清,並搭配 SGS內部跨部門實驗中心,幫助客戶解決化學與汙染相關問題。

製成氣體
進料品檢

氣體純化器
效能驗證

氣體使用
機台洩氣

氣體處理
設備效能

SGS提供您專業氣體檢測服務服務內容

製程氣體品質

氣體純度與不純物分析

氣體水份分析

氣體微氧分析

氣體微量金屬元素分析

氣體微量離子含量分析

氣體中微粒數子分析

混合氣體成分組成分析

氣體種異常物質分析

SGS提供您專業氣體純化器服務內容

氣體純化器效能

純化器後的氣體純度分析

純化器後的氣體不純物分析

純化器後的氣體水份分析

純化器後的氣體微氧分析

純化器後的氣體微量金屬元素分析

純化器後的氣體微量離子含量分析

純化器效能分析

純化器定期監控專案計畫

SGS的專業團隊

SGS可以提供您設備的品質把關

除了為您確認設備中使用氣體的品質, 也以SEMI S2,S6的半導體行業標準確認設備在使用上的安全評估

效能驗證

尾氣處理設備 (Local scrubber)

除害效能DRE (Destruction Removal Efficiency)

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您知道 在生產過程所使用的氣體品質控管是很重要的事