半導體超微量分析服務

您知道 在生產過程所使用的氣體
品質控管是很重要的事

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氣體分析服務

SGS為深根台灣工業與光電半導體廠商提供專業服務

特選於鄰近新竹科學園區設立氣體分析中心,致力於最高技術來針對客戶所使用的氣體進行微量雜質分析,以協助確保客戶端使用之原物料與製程問題釐清,並搭配 SGS內部跨部門實驗中心, 幫助客戶解決化學與汙染相關問題。 SGS內部跨部門實驗中心,幫助客戶解決化學與汙染相關問題。

01
  • 製成氣體
  • 進料品檢
02
  • 氣體純化器
  • 效能驗證
03
  • 氣體使用
  • 機台洩氣
04
  • 氣體處理
  • 設備效能

SGS提供您專業氣體檢測服務服務內容

製程氣體品質

  • 氣體純度與不純物分析
  • 氣體水份分析
  • 氣體微氧分析
  • 氣體微量金屬元素分析
  • 氣體微量離子含量分析
  • 氣體中微粒數子分析
  • 混合氣體成分組成分析
  • 氣體種異常物質分析

SGS提供您專業氣體純化器服務內容

氣體純化器效能

  • 純化器後的氣體純度分析
  • 純化器後的氣體不純物分析
  • 純化器後的氣體水份分析
  • 純化器後的氣體微氧分析
  • 純化器後的氣體微量金屬元素分析
  • 純化器後的氣體微量離子含量分析
  • 純化器效能分析
  • 純化器定期監控專案計畫

SGS的專業團隊

SGS可以提供您設備的品質把關

除了為您確認設備中使用氣體的品質, 也以SEMI S2,S6的半導體行業標準確認設備在使用上的安全評估

效能驗證

  • 尾氣處理設備 (Local scrubber)
  • 除害效能 DRE (Destruction Removal Efficiency)

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