你的設備在無塵室中是零汙染嗎?

無塵室設備汙染來源

半導體產能需求的增加，以及對出貨速度的要求，加速自動化設備投入使用。若設備在運作過程中產生過多微粒與汙染物，將影響無塵室潔淨度，並可能導致製程失效、產品品質下降。在無塵室中由設備造成的汙染來源主要包含以下幾類：

▪︎設備中運動部件在運作時產生磨損

▪︎設備使用材料(如塑膠、橡膠、金屬或表面塗層)的剝落或劣化

▪︎設備維修、保養或搬運時引入的外部污染

▪︎設備使用化學品的揮發

▪︎設備內部液體或氣體洩漏

▪︎設備表面靜電吸附與釋放

▪︎設備表面清潔不足

為何要進行動態發塵測試？

動態發塵測試是指檢測設備運作時或活動過程中空氣中產生的微粒量和顆粒大小，並對其進行評估與管控，相較於靜態測試，動態測試更貼近真實生產情境，使測試結果更具代表性。確保整體製程穩定性與產能品質，是推動高良率與高可靠性製造的必要措施，隨著越來越多半導體廠要求供應商提供動態潔淨度數據以進行品質驗證，各式無塵室設備使用適用性與否，已成為一項必須驗證的重要指標。透過動態測試方法，有助於符合各項法規及產業規範，同時滿足客戶對於品質稽核與驗證的要求，並作為無塵室建置、設備選購及驗證的重要依據。

ISO 14644-14無塵室設備微粒濃度適用性評估

ISO 14644-14提供潔淨度測試方法，適用於各類無塵室及控制環境，能因應半導體、光電、生技製藥等不同產業的潔淨要求。根據 ISO 14644-14，設備經過動態模擬測試，以判定其在實際運作狀態下的適用性。測試過程如下：首先，經由測試前的需求與考量，與客戶達成測試等級、設備操作代表性模式等共識，再經由外觀檢視初步識別殘留汙染，後依評估程序確認測試環境與關鍵測試點位，並開始執行空氣中微粒濃度量測，最後透過數據處理判定潔淨度等級，以提供設備的無塵室適用性聲明。

測試時機與用途：

可執行測試設備類別：

▪︎製程設備：半導體製造設備(如 蝕刻機、曝光機、光罩清洗機)等

▪︎機械手臂：晶圓搬運手臂、探針手臂

▪︎包裝與裝配設備：晶片封裝機

▪︎搬運設備：自動導引車(AGV)、手動推車、輸送帶

▪︎檢測量測設備：電子顯微鏡、光學檢測儀器

▪︎工具與治具：微組裝用夾具、光罩夾

▪︎其他相關設備： 製藥無菌設備、光電產業設備、儲存設備等

SGS 無塵室設備測試服務

SGS 提供符合ISO 14644-14動態發塵測試服務，透過模擬設備的實際運作情境，協助客戶評估其設備是否符合特定使用環境等級要求。主要服務包括：

▪︎客製化模擬試驗：模擬實際操作條件下之微粒產生量

▪︎動態測試評估：確保機構移動、摩擦等行為不導致發塵超標

▪︎提供專業測試報告：協助企業進行品質驗證與風險控管

SGS專業服務可針對不同設備單元提供相應檢測分析技術，符合產品各項潔淨度需求！現在就聯繫SGS，讓我們協助您更了解您的設備潔淨度狀況！📧 semi.cs.tw@sgs.com ☎ +886 2 2299 3279 #7132-7134