技術專區
「SEMI TRUST」是為半導體及高科技製造業打造的品質標章，依據ISO架構並結合國際標準，對半導體之潔淨度與氣體化學管理兩大面向進行驗證，確保產品在安全、性能與適用性上符合業界要求。申請流程簡單，有助於提升產品全球市場信任度與競爭力。
環境部依據 IPCC 指導建議書提出 TM001、TM002 方法學，為排除 Local scrubber 在量測破壞去除設備效能時，製程氣體及助燃氣體對去除效率造成的影響，透過稀釋比進行流量校正，以提升去除效率（DRE）計算的準確性。流量校正方法包含 QMS 分析與流量間接校正兩種方式。透過流量校正，能建立更具科學性的減量依據，並提升減排數據的透明度與準確性。
在高度仰賴氣體與流體傳輸的現代製程中，氣密性不僅關乎設計，更影響生產穩定與安全。從半導體真空腔體到儲氫槽與燃料電池系統，微小洩漏都可能引發重大風險，洩漏的量測已逐漸成為提升製程可靠性與安全性的手段之一。
AI人工智慧需求提升，伴隨半導體產業需求增加，含氟氣體及N₂O為半導體製程中常用的溫室氣體，含氟氣體在環境中較不易被分解，對於全球溫度上升的影響程度為二氧化碳的幾百到幾萬倍，若未進行有效改善，將對環境造成衝擊。在製程後端加裝尾氣破壞處理設備(Local scrubber)以減少溫室氣體的排放，並利用FTIR對Local scrubber去除效率進行量測，以確認設備之減碳效果。
化學排氣櫃對於預防化學暴露、降低實驗風險與提升實驗效率至關重要，常用於製程生產線、工廠端、各級學校單位實驗室等，其抽氣效率與防護效能，對使用者之健康與生命安全有舉足輕重之影響。SGS依照EN 14175 / ASHRAE 110建立一系列相關測方法，提供完備之化學排氣櫃效能檢測。
由於氫能源具有高能量密度與環保的特性，面臨碳費、碳稅碳權等議題，各產業對氫能源開始佈局，對於餘氫/廢氫的純化、回收、再利用更加重視；半導體業、石化業者年產餘氫約350公噸，目前將餘氫回收純化可用於發電或製程廢氣燃燒，降低溫室氣體排放達到減碳目標!
製程環境中空降分子狀污染物(airborne molecular contamination, AMC)對產品良率影響日益顯著；製程良率管控上，需針對AMC進行採樣與檢測，製程環境下氣體濃度需控制在 ppbM或到pptM ( parts per trillion Molar) 等級；標準檢測方法是利用衝擊瓶、吸收液、吸附管或真空採樣桶進行收集，最新的技術發展則為利用自動化監測設備,針對廠區進行連續/多點/移動的檢測模式，可更即時有效掌握製程環境的微汙染狀況。
Local Scrubber檢測服務，精準控制有害氣體排放，協助您實現減碳目標。
面對全球環保議題的日益增長，企業在實踐永續發展上的投入已成為極其重要的議題。綠色產品的研發與製造，不僅是企業實現環境友善目標的具體表現，更是 ESG 議題下企業永續經營的重要一環。
【台北訊】全球檢驗與驗證領導品牌 SGS 台灣檢驗科技股份有限公司於5月6日、5月8日，兩天成功舉辦「你必須要知道的最新 PFAS 管制與去除技術研討會」，本次研討會以 Zoom 線上形式舉行，吸引近百位半導體製造業、電子零組件業及環安衛相關專業人士熱情參與，聚焦 PFAS（全氟及多氟烷基物質）在國際法規趨勢、實務應對及技術去除等領域的最新發展與挑戰。
5/6 (二) 、5/8 (四) ，時間：13:30-16:20 ，線上報名：https://eecloud.sgs.com/region_tw/Signup
2024年11月28日，SGS在台南南科育成中心成功舉辦「先進半導體製造環境監測趨勢研討會」。此次研討會匯集半導體業界與學術界的專家，深入探討了環境監測技術及其在半導體廠務端的應用，吸引眾多產業人士到場參與，現場氣氛熱烈。
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