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AI人工智慧需求提升，伴隨半導體產業需求增加，含氟氣體及N₂O為半導體製程中常用的溫室氣體，含氟氣體在環境中較不易被分解，對於全球溫度上升的影響程度為二氧化碳的幾百到幾萬倍，若未進行有效改善，將對環境造成衝擊。在製程後端加裝尾氣破壞處理設備(Local scrubber)以減少溫室氣體的排放，並利用FTIR對Local scrubber去除效率進行量測，以確認設備之減碳效果。
化學排氣櫃對於預防化學暴露、降低實驗風險與提升實驗效率至關重要，常用於製程生產線、工廠端、各級學校單位實驗室等，其抽氣效率與防護效能，對使用者之健康與生命安全有舉足輕重之影響。SGS依照EN 14175 / ASHRAE 110建立一系列相關測方法，提供完備之化學排氣櫃效能檢測。
由於氫能源具有高能量密度與環保的特性，面臨碳費、碳稅碳權等議題，各產業對氫能源開始佈局，對於餘氫/廢氫的純化、回收、再利用更加重視；半導體業、石化業者年產餘氫約350公噸，目前將餘氫回收純化可用於發電或製程廢氣燃燒，降低溫室氣體排放達到減碳目標!
製程環境中空降分子狀污染物(airborne molecular contamination, AMC)對產品良率影響日益顯著；製程良率管控上，需針對AMC進行採樣與檢測，製程環境下氣體濃度需控制在 ppbM或到pptM ( parts per trillion Molar) 等級；標準檢測方法是利用衝擊瓶、吸收液、吸附管或真空採樣桶進行收集，最新的技術發展則為利用自動化監測設備,針對廠區進行連續/多點/移動的檢測模式，可更即時有效掌握製程環境的微汙染狀況。
Local Scrubber檢測服務，精準控制有害氣體排放，協助您實現減碳目標。
2024年11月28日，SGS在台南南科育成中心成功舉辦「先進半導體製造環境監測趨勢研討會」。此次研討會匯集半導體業界與學術界的專家，深入探討了環境監測技術及其在半導體廠務端的應用，吸引眾多產業人士到場參與，現場氣氛熱烈。
<研討會資訊> SGS先進半導體製造環境監測趨勢研討會邀請函，日期:11/28 10:00~16:10，地點：南科育成中心(國際會議廳B101) / 台南市新市區南科二路12號
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