ISO 14644‑15：打造設備與材料的化學潔淨度與可靠度

ISO 14644‑15 設備與材料適用性評估

針對設備與材料於使用過程中可能釋放的空氣中化學物質，建立一套系統化評估方法，協助確認其是否適用於高敏感度製程環境，確保無塵室或受控環境可穩定達成既定的污染控制要求。

•聚焦設備與材料的化學排放率

•可結合VDI2083-17中的材料相容性VOC逸散測試

•可連結 ISO 14644-8與SEMI F21 的AMC分級管理用以達成化學污染控制目標

採用 ISO 14644‑15 能協助半導體及高科技產業有效降低化學污染風險，在新建廠房驗收、製程風險設計評估以及持續監測計畫中更扮演不可或缺的關鍵角色。

•建立並維持卓越的化學污染控制能力，打造高效、穩定的製程環境

•確保設備與材料的化學排放落在安全範圍內，大幅降低製程污染風險

•將標準導入材料與設備選購及驗證流程，縮短風險評估時間，提升決策效率

•滿足國際供應鏈要求，全面提升產品品質與全球市場競爭力

SGS 潔淨度測試服務

SGS提供材料、零部件與設備化學潔淨度測試服務，針對化學逸散風險給予專業評估規劃，協助客戶全面強化化學污染防護，打造更高品質、更可靠的產品競爭力。

•環境空降分子狀污染物(AMC)檢測

•揮發性有機化合物(VOC)測定

•ASTM E595真空除氣測試

•氣體總碳氫化合物&含油量分析

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