為何材料逸散測試越來越重要

從牆面到膠材不可輕忽的材料污染逸散問題

隨著高階製造產業對潔淨度要求的提升，無塵室使用材料的評估重點，已從傳統的機械應力下的發塵行為控制，延伸至揮發性有機化合物(VOC)逸散與空氣分子污染(AMC)管理。對現今高敏感製程而言，材料本身釋放出的VOC、SVOC與其他分子污染物，同樣可能對產品、製程與設備造成不良影響。以VOC來說，其揮發通常會隨時間遞減，無塵室中的TVOC水平也會逐步下降，但在無塵室啟用初期、設備安裝初期或製程導入前，往往正是污染風險較高的階段。

主要污染來自材料本身添加劑、殘留溶劑、清洗劑殘留、塗層中所含之揮發性有機化合物，以及酸性或鹼性分子污染物的釋放。可能逸散的材料來源包含：

∎ 建築材料：牆板與天花、地坪材料、底漆與塗層、密封膠與接著材料、保溫與風管材料等

∎ 設備材料：濾網與 FFU 材料、密封件與墊片(O-ring、gasket)、管路與軟管材料、電纜與塑膠零件、設備外殼與罩板、輸送與移動接觸材料等

如按照使用階段或位置進行材料污染來源風險分類：

∎ 高風險：靠近製程區、受熱、UV、化學品等長時間沖刷、反覆摩擦或壓縮的高分子材料

∎ 中風險：建築固定材料、遠端設備塑膠件、 線材/管材、非關鍵區耗材

∎ 短期高風險：新建、改造、換濾網、設備進場、清洗保養、停機後再啟動時的施工與清潔殘留

標準化測試方法有助材料選型與污染控制

適用於製程環境的材料，不僅要低發塵，也必須控制其釋氣行為，以避免超出容許濃度要求。因此，材料逸散測試正成為無塵室設計、建置與材料選型的重要依據。
針對材料可能的污染逸散現象。可結合 ISO 16000-9測試艙(test chamber)方法、VDI 2083-17 無塵室材料相容性指引與ISO 14644-8分級標準，進行代表性材料整體的釋氣評估。測試可建構在以下對照基準：

∎ 以受控環境條件進行測試，例如固定溫度與相對濕度

∎ 以表面積標準化的方式評估，將材料逸散視為表面相關現象

∎ 以材料的特定排放率(Specific Emission Rate, SER)作為比較基礎

∎ 以ISO-ACC Class 作為無塵室選材基準

在高科技廠房建置前進行材料逸散測試，可帶來以下效益：

∎ 可建立材料分級與資料庫，直接比較不同材料

∎ 可快速篩選低逸散材料，縮短驗證與調整時間

∎ 可支援無塵室應用的材料相容性判定

∎ 可及早排除高風險材料，降低分子污染導致的製程異常風險

SGS 材料與設備檢測服務

SGS提供材料、零部件與設備潔淨度測試服務，針對化學逸散風險給予專業評估規劃，協助客戶全面強化污染防護，打造高規製程環境。
服務內容：

∎ 無塵室材料相容性測試

∎ VOC / TVOC 釋氣檢測

∎ 空氣分子污染物 AMC 檢測

∎ 設備動態發塵測試

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