在邁向高精密製程的今日，無論是半導體產業中的真空系統、液冷模組，抑或是能源產業的高壓儲氫槽、天然氣管線或燃料電池系統，以及其他工業應用中的流體傳送設備，微小洩漏都可能引發產線異常、環境污染、能源耗損，甚至潛藏重大安全風險。
為確保現場系統的密封性，洩漏的量測成為不可忽視的重要一環。
現階段常見的洩漏量測方式主要分為兩類：氦氣測漏與保壓測試。
氦氣測漏(Helium leak test)
為一種高靈敏度的非破壞性檢測技術，可快速辨識設備或零件是否存在微洩問題，協助現場人員精準掌握氣密狀況。
噴氣法：適用於負壓系統，如真空腔體。測試時將氦氣噴灑於可能洩漏的區域，並以測漏儀偵測是否有氦氣進入設備內部。此方法可依 SEMI F106 標準執行，確保檢測程序符合產業規範。
吸氣法：適用於正壓及常壓系統，如氣體管線銜接處、液冷管線銜接處。將待測裝置內部充填氦氣後，以氦氣測漏儀之探頭於待測裝置外部可能洩漏的區域進行掃描，偵測氦氣是否從系統中逸出。針對真空系統洩漏測試，可依照SEMI F106標準進行執行。
保壓測試(Nitrogen leak test)
適用於進行長時間的洩漏觀察，透過設定壓力後靜置並監控壓力變化，可有效評估系統在實際運作下的密封穩定性。
透過這兩種檢測技術，在第一時間發現問題、預防風險，為高精密製程建構更穩固的氣密防線，也為產品良率與安全管理提供強而有力的技術後盾。
SGS提供洩漏相關檢測服務
可針對客戶的實際需求設計客製化測試方案，涵蓋單一零件到整體設備系統，並提供測試報告作為品質驗收依據。透過嚴謹的檢測流程，協助企業提升製程可靠性，預防潛在風險，打造更穩定與安全的工作環境，為穩定製程與營運安全把關。
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