你知道嗎？半導體製程中的 Local Scrubber 不只是「處理廢氣」，廢氣在分解後，還可能生成各種副產物，影響排放穩定性、設備壽命與維護成本。
現址式空氣處理設備（Local Scrubber）常用過濾、催化、電熱分解、電漿處理或燃燒水洗等方式處理廢氣。但即便如此，廢氣仍可能衍生：
• NOx 氮氧化物
• 高 GWP 溫室氣體或轉化產物
• 酸性氣體（HF、HCl）
• 酸霧與白霧
• 鹽類結晶與沉積
• 微粒粉塵（如 SiO₂）
掌握副產物生成條件及觀察徵兆，並建立監測與維護策略，是確保排放穩定、降低腐蝕風險、控制長期運行成本的關鍵。
SGS 提供專業 Local Scrubber 檢測服務：
• 依 TM001 / TM002 方法學，搭配流量間接校正
• 檢測尾氣處理效能及相關氣體副產物
• 計算破壞去除效率，提供完整檢測報告
• 支援半導體與顯示器產業的減碳、碳盤查與設備驗收
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