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氣體管路「水分分析」落實高科技廠房精準監控

透過水分分析,精準掌握氣體管路乾燥度與品質狀態,協助管路檢測與定期監測,降低異常水分對製程穩定性的影響,確保高科技製程高良率。

透過水分分析,精準掌握氣體管路乾燥度與品質狀態,協助管路檢測與定期監測,降低異常水分對製程穩定性的影響,確保高科技製程高良率。
氣體管路「微氧分析」把關高科技製程氣體品質

水分分析,為何是高科技製程的重要檢測?

在半導體、高科技製造業中,氣體管路的乾燥度至關重要。微量水分可能引發管道腐蝕、微粒污染及製程反應偏差,導致良率下降,尤其在CVD、ALD等製程風險更高。透過水分分析檢測,可精準了解供氣品質與系統狀態,避免隱藏問題帶來損失。

微量水分的風險

  • 閥件腐蝕及壽命縮短
  • 干擾反應條件,引發產品缺陷
  • 生成顆粒污染,影響膜層品質

水分分析檢測的價值

  • 掌握氣體乾燥度
  • 監控品質,避免製程風險
  • 建立完整檢測記錄,支援追溯

常見應用場景

新建管路檢測、維修後確認、供氣品質監控及異常排查。

快速比較:傳統估計 vs 水分分析

方式優點限制
以Purge時間推估步驟簡單缺乏實測證據,無法反映狀態
水分分析檢測提供數據、支援品質控管需專業儀器與現場操作
控制水分,守護先進製程的關鍵。
SGS水分分析檢測服務,協助產線降低異常風險並強化品質管理。
📧 聯絡我們:semi.cs.tw@sgs.com

☎ +886 2 2299 3279 #7132-7134

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