在半導體、高科技製造業中,氣體管路的乾燥度至關重要。微量水分可能引發管道腐蝕、微粒污染及製程反應偏差,導致良率下降,尤其在CVD、ALD等製程風險更高。透過水分分析檢測,可精準了解供氣品質與系統狀態,避免隱藏問題帶來損失。 微量水分的風險閥件腐蝕及壽命縮短干擾反應條件,引發產品缺陷生成顆粒污染,影響膜層品質 水分分析檢測的價值掌握氣體乾燥度監控品質,避免製程風險建立完整檢測記錄,支援追溯 常見應用場景新建管路檢測、維修後確認、供氣品質監控及異常排查。 快速比較:傳統估計 vs 水分分析方式優點限制以Purge時間推估步驟簡單缺乏實測證據,無法反映狀態水分分析檢測提供數據、支援品質控管需專業儀器與現場操作 控制水分,守護先進製程的關鍵。SGS水分分析檢測服務,協助產線降低異常風險並強化品質管理。📧 聯絡我們:semi.cs.tw@sgs.com